超高純氣體
壓力錶／壓力傳感器
Ultra-High Purity Gauge
超高純氣體壓力錶／壓力傳感器
此系列是專為半導體、電子、醫療、生物技術和製藥行業的超高純度氣體分配系統而設計的。
Item
所
有
項
目
• 超高純壓力錶
• 超高純壓力開關
• 防腐壓力錶
• 延長導線熱電偶和電阻溫度檢測器
• 抗壓防爆外殼壓力傳感器
• 本質安全型壓力傳感器
• 非火花非易燃外殼壓力傳感器
• 基本型壓力傳感器
型號 MODEL
P810 Series (316L Type)_Ultra High Purity Pressure Gauge (EP Grade)
P820 Series_Ultra High Purity Pressure Gauge (EP Grade / Double Melt)
P830 Series_High Purity Pressure Gauge (BA Grade)
直徑 NOMINAL DIAMETER
P810 / P830 Series : 35 (11⁄2″), 50 (2″) and 63 mm (21⁄2″)
P820 Series : 50 (2″) and 63 mm (21⁄2″)
精度 ACCURACY
P810 / P830 Series
Grade A : 50 (2″) and 63 mm (21⁄2″)
Grade B : 35 (11⁄2″), 50 (2″) and 63 mm (21⁄2″)
P820 Series
Grade A (ASME B40.1) : 50 (2″) and 63 mm (21⁄2″)
Grade B (ASME B40.1) : 50 (2″) and 63 mm (21⁄2″)
量程 SCALE RANGE
-0.1 ~ 0 to 0 ~ 28 MPa
工作温度 WORKING TEMPERATURE
環境溫度 Ambient : – 40~65°C / 流體 Fluid : Max.100°C
壓力接口 PRESSURE CONNECTION
316L不銹鋼電拋光低底座或中心後底座表面光潔度Ra≤0.25 ㎛
■¼” NPT外螺纹
■VCR® 面部密封
内芯 ELEMENT
316L不銹鋼型
<6 MPa兆帕 : C型弹簧管
≥6 MPa : 螺旋型弹簧管
外殼 CASE
304SS，帶減壓裝置的電拋光
指針 Pointer
黑色塗漆鋁合金
氦氣洩漏率 HELIUM LEAK RATE
經測試確認洩漏率低於10 mbar • ℓ/sec
型號 MODEL
P840 Series (316L Type)
適用範圍 SERVICE INTENDED
P840 系列專為用於半導體、電子、醫療、生物技術和製藥行業的超高純度氣體分配系統而設計
直徑 NOMINAL DIAMETER
50 mm (2″)
開關精度 SWITCH POINT ACCURACY
±2.0% of full scale
量程 SCALE RANGE
0 ~ 28 MPa
壓力接口 PRESSURE CONNECTION
316L不銹鋼電拋光低底座或中心後底座表面光潔度Ra≤0.25 ㎛
■¼” NPT外螺纹
■VCR® 面部密封
内芯 ELEMENT
316L不銹鋼型
<6 MPa兆帕 : C型弹簧管
≥6 MPa : 螺旋型弹簧管
外殼 CASE
304SS，帶減壓裝置的電拋光
氦氣洩漏率 HELIUM LEAK RATE
經測試確認洩漏率低於10 mbar • ℓ/sec
接口 CONNECTION
26 AWG, Teflon insulated, 10 feet leads (2 black wires)
最大功率 MAXIMUM POWER
10 watts DC, 12 VA/AC
最大開關電流 MAXIMUM SWITCHING CURRENT
0.5 amps AC/DC noninductive
最大開關電壓 MAXIMUM SWITCHING VOLTAGE
28 V AC/DC
型號 MODEL
P870 series
直徑 NOMINAL DIAMETER
50 mm
精度 ACCURACY
±1.5% of full scale (Only available with 0.6 and 1 MPa)
±2.0% of full scale
量程 SCALE RANGE (MPa, kPa, bar)
0 ~ 0.1 MPa to 0 ~ 1 MPa
工作壓力 WORKING PRESSURE
Steady pressure : 75 % of full scale
工作溫度限制 WORKING TEMPERATURE LIMITS
環境溫度 Ambient : 10 ~ 30 °C
壓力接口 PRESSURE CONNECTION
Fluorine resin (PTFE)
壓力元件 PRESSURE ELEMENT
波紋管 Bellows : Fluorine resin (PFA)
錶蓋 CASE & COVER
PP Resin
錶面 WINDOW
Screw type PET resin
機芯 MOVEMENT
黃銅 Brass
刻度盤 DIAL
White aluminium with black graduations
指針 POINTER
Aluminium alloy, Black painted
進程接口 PROCESS CONNECTION
3⁄8″ PT, PF Tube (Plaese consult about other connection)
處理過程 TREATMENT
組裝和調整：潔淨室（10000級）
洩漏測試：氦洩漏測試
處理方法：不使用油和水
包裝：氮氣沖洗後，清潔聚乙烯密封包裝
型號 MODEL
R300 Series / R950 Series
內芯 ELEMENT
熱電偶 Thermocouple : K, E, J, T, N, R, S, B
熱電阻 RTD : Pt 100 Ω at 0°C
溫度讀數的公差 TOLERANCES ON TEMPERATURE READING
■ Thermocouple 熱電偶
Class 1, Class 2 (DIN/IEC584-2, BS/EN60584-2, JIS C1602) Special, Standard (ASTM E230, E988, ISA-MC96.1)
■ R.T.D. 熱電阻
Class A : ± (0.15 + 0.002 l t l)
Class B : ± (0.3 + 0.005 l t l)
護套外徑 SHEATH OUTER DIAMETER
■ Thermocouple 熱電偶
1.0, 1.6, 2.3, 3.2, 4.8, 6.4, 8.0, 9.5 and 12.7 mm
*Double element is not available for 1.0 and 1.6 mm sheath outer diameter
■ R.T.D. 熱電阻
3.2, 4.8, 6.4 and 8.0 mm
傳感元件結構 SENSING ELEMENT STRUCTURE
Protection tube or sheathed
保護管外徑 PROTECTING TUBE OUTER DIAMETER
6.4, 8.0, 10.0, 12.0 and 15.0 mm
型號 MODEL
PT850 series
壓力範圍 PRESSURE RANGE
-15 ~ 30 psi to -15 ~ 3,000 psi gauge pressure
精度 ACCURACY
±0.25% of span
輸入功率 INPUT POWER
12~24 VDC
輸出信號 OUT PUT SIGNAL
4~20 mA
DC 2-wire loop powered technique
製成材料 MATERIAL WETTED BY PROCESS
傳感器 Sensor : Stainless steel 630 or Hastelloy C22
接口 Connection: Stainless steel 316L
工作溫度範圍 OPERATING TEMPERATURE RANGE
-20 ~ 80 °C
溫度效應 TEMPERATURE EFFECT
±0.15 %, ≤10 °C
保護 PROTECTION
Ex d IIC T6 (KCS, NEPSI)
型號 MODEL
PT851 series
壓力範圍 PRESSURE RANGE
-15 ~ 30 psi to -15 ~ 3,000 psi gauge pressure
精度 ACCURACY
±0.25% of span
輸入功率 INPUT POWER
12~24 VDC
輸出信號 OUT PUT SIGNAL
4~20 mA
DC 2-wire loop powered technique
製成材料 MATERIAL WETTED BY PROCESS
傳感器 Sensor : Stainless steel 630 or Hastelloy C22
接口 Connection: Stainless steel 316L
工作溫度範圍 OPERATING TEMPERATURE RANGE
-20 ~ 80 °C
溫度效應 TEMPERATURE EFFECT
±0.15 %, ≤10 °C
保護 PROTECTION
Ex ia IIC T6…T4 (KCS, NEPSI)
型號 MODEL
PT852 series
壓力範圍 PRESSURE RANGE
-15 ~ 30 psi to -15 ~ 3,000 psi gauge pressure
精度 ACCURACY
±0.25% of span
輸入功率 INPUT POWER
12~24 VDC
輸出信號 OUT PUT SIGNAL
4~20 mA
DC 2-wire loop powered technique
製成材料 MATERIAL WETTED BY PROCESS
傳感器 Sensor : Stainless steel 630 or Hastelloy C22
接口 Connection: Stainless steel 316L
工作溫度範圍 OPERATING TEMPERATURE RANGE
-20 ~ 80 °C
溫度效應 TEMPERATURE EFFECT
±0.15 %, ≤10 °C
保護 PROTECTION
Ex ia IIC T6…T4 (KCS, NEPSI)
型號 MODEL
PT853 series
壓力範圍 PRESSURE RANGE
-15 ~ 30 psi to -15 ~ 3,000 psi gauge pressure
精度 ACCURACY
±0.25% of span
輸入功率 INPUT POWER
12~24 VDC
輸出信號 OUT PUT SIGNAL
4~20 mA
DC 2-wire loop powered technique
製成材料 MATERIAL WETTED BY PROCESS
傳感器 Sensor : Stainless steel 630 or Hastelloy C22
接口 Connection: Stainless steel 316L
工作溫度範圍 OPERATING TEMPERATURE RANGE
-20 ~ 80 °C
溫度效應 TEMPERATURE EFFECT
±0.15 %, ≤10 °C