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氣體

 1. 工業氣體

2. 電子級氣體

  • 大宗氣體: 氮氣、氬、氧氣、氫氣、二氧化碳等氣體
  • 特殊氣體: 
    • 惰性氣體:氦He 、六氟化硫SF6 、四氟化碳CF4 、六氟乙烷C2F6 、八氟環丁烷C4F8 、四氟化碳CF4
    • 易燃性氣體:甲矽烷SiH4 、乙硼烷B2H6 、磷化氫PH3 、二氯矽烷SiH2Cl2 、氨NH3 、甲烷CH4 、一氧化碳CO。
    • 腐蝕性氣體:氯Cl2 、氟F2 、氯化氫HCl 、溴化氫HBr 、六氟化鎢WF6 、氨NH3 、氟化氮NF3 、三氯化硼BCl3 、氟化矽SiF4 、砷化氫AsH3 、三氟化氯ClF3 、一氧化二氮N2O 、四氯化矽SiCl4、三氯化砷AsCl3 、三氟化硼BF3