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超高純氣體純化設備
一般大宗氣體 (Bulk Gas) 使用量較大的幾種氣體：
有氮氣 (N2) 、氧氣 (O2) 、氫氣 (H2) 、氬氣 (AR) 、氦氣 (He) 、壓縮空氣 (CDA) 為主。
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一般大宗氣體 (Bulk Gas) 使用量較大的幾種氣體：
有氮氣 (N2) 、氧氣 (O2) 、氫氣 (H2) 、氬氣 (AR) 、氦氣 (He) 、壓縮空氣 (CDA) 為主。
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