GWT-F10~500-HE,AR,NE,XE-X,S 系列惰性氣體純化器

產品特色

氬氣、氦氣純化器原理

本純化器採用流程對氬氣、氦氣進行純化，原料氬氣、氦氣進入純化器後，經過高溫（~350℃-550℃）吸附流程將氬氣、氦氣中的H2O，O2，CO，CO2，CH4，N2等雜質去除至1ppb以下。
高溫吸附反應器內裝填不同數量比例的粒狀吸氣劑（GETTER）, 可有效的吸附H2O，O2，CO，CO2，CH4，N2等雜質，吸氣劑不可再生，設計工作壽命>3年。